The Effect of Pad-asperity Curvature on Material Removal Rate in Chemical-mechanical Polishing
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
Material Removal Mechanism in Chemical Mechanical Polishing: Theory and Modeling
The abrasion mechanism in solid-solid contact mode of the chemical mechanical polishing (CMP) process is investigated in detail. Based on assumptions of plastic contact over wafer-abrasive and pad-abrasive interfaces, the normal distribution of abrasive size and an assumed periodic roughness of pad surface, a novel model is developed for material removal in CMP. The basic model is = removed, wh...
متن کامل: the effect of sericin levels (silk glue protein) on rate of in vitro maturation, fertilization and culture of sheep oocytes
هدف از آزمایش اول بررسی اثر سطوح مختلف سریسین [0 (control), 0.1, 0.5, 1.0, 2.5 %] افزوده شده به محیط , ivm بر cumulus cell expansion، بلوغ هسته و توسعه متوالی جنین، در گوسفندان نژاد سنجابی در فصل تولید مثلی می باشد. از سرگیری میوز به وسیله خارج شدن اولین پولار بادی اندازه گیری و هم چنین درصد رسیدن جنین های دو سلولی به مرحله کلیواژ و بلاستوسیت نیز به عنوان نشانه ای از میزان شایستگی توسعه اولیه ج...
the washback effect of discretepoint vs. integrative tests on the retention of content in knowledge tests
در این پایان نامه تاثیر دو نوع تست جزیی نگر و کلی نگر بر به یادسپاری محتوا ارزیابی شده که نتایج نشان دهندهکارایی تستهای کلی نگر بیشتر از سایر آزمونها است
15 صفحه اولthe effect of taftan pozzolan on the compressive strength of concrete in the environmental conditions of oman sea (chabahar port)
cement is an essential ingredient in the concrete buildings. for production of cement considerable amount of fossil fuel and electrical energy is consumed. on the other hand for generating one tone of portland cement, nearly one ton of carbon dioxide is released. it shows that 7 percent of the total released carbon dioxide in the world relates to the cement industry. considering ecological issu...
Pad Scratching in Chemical-Mechanical Polishing: The Effects of Mechanical and Tribological Properties
The MIT Faculty has made this article openly available. Please share how this access benefits you. Your story matters.
متن کاملذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Procedia CIRP
سال: 2014
ISSN: 2212-8271
DOI: 10.1016/j.procir.2014.03.014